> R&B > ¼³ºñÇöȲ
E-Beam Writer
¸ðµ¨ : MEBES 4500, 4700 & 5000
¿ëµµ : ÀüÀÚºöÀ» Ȱ¿ëÇÑ ¹Ì¼¼ÆÐÅÏ ³ë±¤±â
ÁÖ¿ä»çÇ× : Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ ÆÐÅÏ ³ë±¤±â´É
Laser Writer
¸ðµ¨ : MW1100
¿ëµµ : Æ÷Å丶½ºÅ© ¹× ¹Ì¼¼ÆÐÅÏ ³ë±¤±â
ÁÖ¿ä»çÇ× : Æ÷Å丮¼Ò±×·¡ÇÇ ÆÐÅÏ ³ë±¤±â´É
CD SEM
¸ðµ¨ : AMS-310
¿ëµµ : ¹Ì¼¼¼±ÆøÃøÁ¤±â
ÁÖ¿ä»çÇ× : ¸¶½ºÅ© ¼±Æø ÃøÁ¤
Data Preparation Software
¸ðµ¨ : Layout BEAMER
¿ëµµ : Pattern Data º¯È¯ ¹× ¼öÁ¤
Ȱµ¿ºÐ¾ß : ·¹ÀÌÀú¶óÀÌÅÍ, ÀüÀÚºö format Àüȯ.
ÁÖ¿ä»çÇ× : µðÀÚÀÎ ÆÄÀÏ º¯È¯ ¹× ¼öÁ¤ ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç ÀÛ¾÷.
PR Coater
¿ëµµ : µð½ºÇ÷¹¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ÄÚÆÃ
ÁÖ¿ä»çÇ× : Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® Coating
Developer
¸ðµ¨ : mark-7
¿ë µµ : ¼ÒÇü ¸¶½ºÅ© ¹× ¿þÀÌÆÛ Çö»ó±â
ÁÖ¿ä»çÇ× : ÆÐÅÏ Çö»ó
Etcher & Cleaner
¸ðµ¨ : PMC-1000
¿ëµµ : ¼ÒÇü ¸¶½ºÅ© ¾ÖĪ ¹× ¼¼Á¤±â
ÁÖ¿ä»çÇ× : ÆÐÅÏ ½Ä°¢ ¹× ±âÆÇ ¼¼Á¤