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Slurry Recycling System

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why recycle oxide slurry?

Slurry Recycling System 이란 ?

최첨단 반도체 생산제조 팹에서는 CMP 공정단계에서 매년 1,500,000 리터 이상의 혼합 산화물 슬러리를 사용합니다.

폴리셔에 쓰이는 순수한 물과 결합된 슬러리는 100,000,000 리터 이상의 산화물 슬러리 폐수를 발생시키고, 이 폐수를 최대한 줄이는 것이 환경을 지켜야 하는 우리의 과제였습니다.

이에 2000년 부터 2009년까지 9년간의 연구 끝에 유럽에서 폐산화물 슬러리를 폐기하지 않고 재생하여 재사용할 수 있게 하는 획기적인 장비개발에 성공

2012년 미국에서 획기적인
기술로 특허인정을 받았습니다.

이렇게 인증을 받은 슬러리
재생시스템은 현재 전세계
유명 반도체 업체에게 선택
받아 독일, 프랑스, 미국, 일본,
싱가폴, 말레이시아에 이어
2014년 한국의 생산 팹에 설치,
사용되어지고 있습니다.

슬러리 재생/재사용 비율은 80~85% 로 폐슬러리의 재사용으로 인한 엄청난 규모의 비용절감효과로 사용자들의 만족을 이끌어 냄과 동시에 환경보호에 앞장서고 있습니다.

기존의 일반 슬러리 공급 장비

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산화 슬러리 재생,순환, 재활용 장비

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