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RTP Machine
¹Ì±¹ Wafermasters »ç´Â ¿ Àü´Þ ¸ÞÄ¿´ÏÁò (¿¹: ¿ÀÇ ÀüµµÀ², ´ë·ù ¹× º¹»ç¿) ÀÇ ºÒÈ®½Ç¼º, ¿À·ù ¹× º¯¼ö¸¦ ÃÖ¼ÒÈÇÏ¿© ¿¡³ÊÁö È¿À²¼º, ÇÁ·Î¼¼½º ¹Ýº¹¼º ¹× Á¦Ç°ÀÇ ½Å·Ú¼ºÀ» ³ôÀ̰ڴٴ öÇÐÀ¸·Î 6³â°£ÀÇ ¿¬±¸ ³¡¿¡ ȹ±âÀûÀÎ ±â´É°ú µðÀÚÀÎÀ» žÀçÇÑ RTP (Rapid Thermal Process) Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¿ì¼öÇÑ ¿þÀÌÆÛ ÀçÇö¼ºÀº ¼ö·ü °³¼±¿¡ ¿¼èÀÔ´Ï´Ù.
REPEATABILITY (¹Ýº¹¼º) = YIELD (¼ö·ü)
Wafermasters ÀÇ RTP Àåºñ´Â