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RTP(Rapid Thermal Process)

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RTP Machine

미국 Wafermasters 사는 열 전달 메커니즘 (예: 열의 전도율, 대류 및 복사열) 의 불확실성, 오류 및 변수를 최소화하여 에너지 효율성, 프로세스 반복성 및 제품의 신뢰성을 높이겠다는 철학으로 6년간의 연구 끝에 획기적인 기능과 디자인을 탑재한 RTP (Rapid Thermal Process) 장비를 개발하였습니다. 우수한 웨이퍼 재현성은 수률 개선에 열쇠입니다.

REPEATABILITY (반복성) = YIELD (수률)

Wafermasters 의 RTP 장비는

  • 웨이퍼 전체에 균일하게 열을 전달합니다.
  • 일정한 열 전달을 유지하여 웨이퍼에 발생하는 스트레스를 최소화합니다.
  • 열 전달이 미약한 부분에 열을 더하기 위해 램프를 사용하지 않아도 됩니다.
  • MTBF > 5,000hrs (7개월 이상!) 입니다.
  • Moving Part 의 최소화, 인터록, 불필요한 복잡함을 개선한 디자인으로 신뢰성을 높였습니다.