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Layout LABPro

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통합 리소그래피 시뮬레이션 소프트웨어
(Proximity Printing & Projection Printing Simulation Software)

실험을 통해 레이아웃을 최적화하고 공정 개발을 하는 것은 매우 많은 시간이 소모되고 많은 비용이 들어간다는 단점을 지니고 있기 때문에 이러한 단점을 보완하기 위해 개발된 시뮬레이션 소프트웨어가 Layout LABPro 입니다.

Layout LAB Pro 는 평면 패널 디스플레이, LED, MEMS 및 3D packaging 등 전 분야에 적용하고 있으며 리소그래피 시뮬레이션 프로그램을 통해 가상 실험을 하게 되면 짧은 시간에 근접, 투영, 전자 빔 리소그래피 등 거대한 매개 변수를 예측하고 측정하여 에러를 최소화 하는 것이 가능합니다.

빛의 강도를 신속하고 정확하게 계산하여 레이아웃 최적화 (OPC), 마스크 레이아웃 확인검증, 프로세스 조건 (예: Light, Stack) 최적화, 레이아웃 및 노출 변수를 변경하여 프로세스 윈도우 (예: Gap 또는 Defocus 현상 및 Exposure Dose 변경 등)의 최적값을 도출합니다. 고가의 마스크 또는 웨이퍼를 소비하며 실험을 하지 않고도 수천 번의 시뮬레이션이 가능하기 때문에 시뮬레이션만을 통하여 짧은 시간 안에 정확한 결과를 산출해 낼 수가 있습니다.