Tracer
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Monte Carlo Simulation Software
Beam Scattering ¹× °øÁ¤°úÁ¤ Áß Beam Blur Çö»ó ¿¹Ãø ¹× ¼öÄ¡È
- Point Spread Function (PSF) Àº ±ÙÁ¢È¿°úº¸Á¤ (Proximity Effect Correction), °øÁ¤È¿°úº¸Á¤(Process Effect Correction) ¶Ç´Â e-beam ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÀÇ Çʼö ÀԷµ¥ÀÌÅͷνá, Åõ»çµÈ ºöÀ¸·ÎºÎÅÍÀÇ °Å¸®ÇÔ¼ö°è»êÀ» ÅëÇØ ¹ß»ýµÈ ¿¡³ÊÁö¸¦ Á¤ÀÇÇÏ´Â ±â´ÉÀÔ´Ï´Ù. ÇÁ·Î¼¼½º È¿°ú ¹× º¸Á¤ ǰÁúÀº ÀüÀûÀ¸·Î PSF ÀÇ ±â¼ú¿¡ µû¶ó ´Þ¶ó Áý´Ï´Ù.
- TRACER ´Â ÀÌ·¯ÇÑ ºöÀÇ ºÐ»ê, ºöÀÇ »çÀÌÁî (¶Ç´Â Beam BlurÇö»ó) ¿Í °øÁ¤È¿°ú¸¦ ¿¹ÃøÇÏ°í ¼öÄ¡È ÇÏ´Â ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ÀÔ´Ï´Ù.
- TRACER ´Â ¸Å°³º¯¼ö °ª (µ¥ÀÌÅÍ, stack, °¡¼ÓÀü¾Ð) ¿¡ ÀÇÇØ °øÅëÀûÀ¸·Î ³ªÅ¸³ª´Â °á°ú°ªÀ» ¼öÄ¡ÈÇϰí Ç¥º»ÈÇÏ´Â ÇÁ·Î±×·¥À¸·Î »ç¿ëÇϱ⠽¬¿î ÀÎÅÍÆäÀ̽º¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù.
- MC (Monte Carlo) ½Ã¹Ä·¹À̼Ç, r-z ½Ã¹Ä·¹ÀÌ¼Ç °á°ú (´Ù¸¥ Resist µÎ²²¿¡ ÀüÆÄµÇ´Â ¿¡³ÊÁö °ª) ¸¦ ½Ã°¢, Ç¥º»ÈÇÏ¿© 1D PEC ¿¡ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â PSF¸¦ ÃßÃâÇØ ³»´Â ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾îÀÔ´Ï´Ù.
- º» ½ÇÇè ¹× ÇÁ·Î¼¼½ºÈ¿°ú ÃøÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀÎ µµ±¸ÀÎ Tracer ´Â Layout BEAMER ¿Í ÇÔ²² Á¦°øµË´Ï´Ù.
